实战指南：如何充分发挥七海测量大行程影像测量仪在掩膜版测量中的优势

掩膜版作为生产面板、芯片等的关键材料，其生产精度要求和质量水平直接影响到下游制品的优品率，如何提高掩膜版的精度目前已成为各大厂商们的难题。
 

检测需求

此次客户需要对大批量的金属框及金属框+掩模版产品进行测量，产品长度范围为500mm-1870mm，宽度范围为600mm-1500mm，测量需求包括产品多点位的平面XY坐标信息、指定点位的高度Z坐标信息以及金属框指定点相对平面的下垂量。
 

检测难点

掩膜板产品通常具有较大的尺寸和重量，重量范围在30kg到120kg之间，且其产品特征多，需要使用底光测量方法进行检测。在将这些产品放置在平台上时，需要确保平台没有出现明显的变形，这对于测量平台的承重能力提出了挑战。
 

解决方案

七海测量VIEWMAX L是一款具有专用平台并采用特殊尺寸的大行程影像仪，平台四周采用大理石框架，中间搭载玻璃平台，产品可固定在大理石平台上，能够解决产品放置在玻璃平台上产生的变形问题，确保测量的准确性。此外，VIEWMAX L影像仪使用经过PTB认证的专业测量软件PC-DMIS VISION，可以对相同间隔类似的检测特征元素阵列循环，解决大批量相同元素编程耗时难点。
 

检测过程
步骤一，测量mark 点并建立坐标系。

 

步骤二，抓取第 一个矩形框，共计4条直线。
a)  构造点，分别构造四条线的相交点;
b) 构造线，构造对角线;
c) 构造点，选择两条对角线，求相交点。

  步骤三，特征位置，并输出相交点XY值。
 
步骤四，阵列。
a)  复制需要阵列的元素及尺寸评价
b)  选择“编辑-阵列”
c)  设置偏置距离及偏置次数
d)  选择“编辑-阵列粘贴”
  
步骤五，激光在基准平面四周取四个激光点。
a)     构造平面，选择四个激光点；
b)    建立坐标系，面Z正找正，面为Z原点。
  
步骤六，白光检测矩形框的交叉点Z值，检测下垂量。
 
步骤七，报告输出。